Nga đã công bố lộ trình phát triển máy in quang khắc (EUV) ít tốn kém và ít phức tạp hơn so với các hệ thống của ASML...
Lộ trình phát triển công nghệ quang khắc của Nga sẽ được tiến hành theo ba giai đoạn - Ảnh minh hoạ
CNews đưa tin Nga muốn thiết kế laser hoạt động ở bước sóng 11,2 nm thay vì tiêu chuẩn 13,5 nm của ASML. Dĩ nhiên, bước sóng này sẽ không tương thích với cơ sở hạ tầng EUV hiện có và điều này buộc Nga phải phát triển hệ sinh thái quang khắc của riêng mình, có thể sẽ mất nhiều năm, nếu không muốn nói là một thập kỷ hoặc hơn.
Sáng kiến bán dẫn của Nga được dẫn dắt bởi chuyên gia Nikolay Chkhalo từ Viện Vật lý Vi cấu trúc của Viện Hàn lâm Khoa học Nga. Nga tin rằng công nghệ EUV của mình sẽ có hiệu suất đủ mạnh để cạnh tranh với dòng quang khắc đang chiếm lĩnh thị trường của ASML, đồng thời giảm chi phí sản xuất và vận hành so với các dòng EUV của công ty Hà Lan.
Không giống như các hệ thống quang khắc EUV của ASML, máy EUV của Nga sẽ sử dụng nguồn laser dựa trên xenon với bước sóng 11,2 nm thay vì các hệ thống dựa trên thiếc của ASML. Chuyên gia Nikolay Chkhalo cho biết bước sóng 11,2nm giúp cải thiện 20% độ phân giải, cho phép tạo ra cấu trúc bán dẫn chi tiết tốt hơn đồng thời đơn giản hóa thiết kế và giảm chi phí của các thành phần quang học. Sự điều chỉnh này làm giảm đáng kể vấn đề ô nhiễm của các yếu tố quang học, kéo dài tuổi thọ của các bộ phận quan trọng như bộ thu và viên bảo vệ của máy.
Tuy nhiên, các máy quang khắc của Nga sẽ kém mạnh hơn ASML, với thông lượng thấp hơn khoảng 2,7 lần do sử dụng nguồn sáng 3,6 kW. Tuy nhiên, hiệu suất này được coi là đủ cho sản xuất quy mô nhỏ.
Mặc dù. bước sóng 11,2 nm vẫn nằm trong phổ cực tím, tuy nhiên, thay đổi này không phải là sự điều chỉnh nhỏ. Điều đó có nghĩa là tất cả các yếu tố quang học - chẳng hạn như gương, lớp phủ, thiết kế mặt nạ và điện trở - phải được thiết kế và tối ưu hóa phù hợp bước sóng mới. Nguồn laser, công nghệ kiểm soát ô nhiễm và các công nghệ hỗ trợ khác cũng sẽ cần được tái thiết kế để hoạt động hiệu quả ở bước sóng 11,2 nm.
Do đó, các máy EUV của Nga với bước sóng 11,2nm sẽ không tương thích với cơ sở hạ tầng EUV và hệ sinh thái hiện có được xây dựng xung quanh máy quang khắc 13,5nm. Trên thực tế, ngay cả các công cụ tự động hóa thiết kế điện tử cũng sẽ phải được cập nhật cho các công cụ EUV với laser 11,2nm.
Lộ trình phát triển công nghệ quang khắc của Nga sẽ được tiến hành theo ba giai đoạn. Giai đoạn đầu tiên tập trung vào nghiên cứu nền tảng, xác định các công nghệ chính và thử nghiệm các thành phần ban đầu. Giai đoạn thứ hai liên quan đến việc tạo ra một nguyên mẫu có khả năng xử lý sáu mươi tấm wafer 200 mm mỗi giờ và tích hợp nó vào dây chuyền sản xuất chip trong nước. Giai đoạn thứ ba cung cấp một hệ thống sẵn sàng cho nhà máy có khả năng xử lý 60 tấm wafer 300 mm mỗi giờ. Tuy nhiên, hiện chưa rõ thời gian cụ thể cho mỗi giai đoạn phát triển máy in quang khắc của Nga.
Quang khắc (Photolithography) là một công nghệ quan trọng trong sản xuất bán dẫn, được sử dụng để tạo ra các cấu trúc siêu nhỏ trên bề mặt wafer silicon, là nền tảng của các vi mạch điện tử. Quang khắc dựa trên việc sử dụng ánh sáng để "vẽ" các mẫu vi mạch (patterns) trên lớp vật liệu cảm quang (photoresist) phủ trên bề mặt wafer. Đây là bước tiến quan trọng giúp gia tăng mật độ bóng bán dẫn trên một con chip, qua đó nâng cao hiệu suất, giảm tiêu thụ năng lượng và thu nhỏ kích thước sản phẩm.
ASML, một công ty công nghệ hàng đầu đến từ Hà Lan hiện là nhà cung cấp độc quyền trên thế giới các máy quang khắc tiên tiến nhất sử dụng công nghệ EUV (Extreme Ultraviolet Lithography). Công ty này đã đầu tư hàng chục tỷ USD và hàng chục năm nghiên cứu để phát triển công nghệ EUV. ASML hiện cung cấp máy quang khắc cho các công ty bán dẫn hàng đầu thế giới như TSMC, Samsung Electronics, Intel, SK Hynix và Micron Technology.
Việc ban hành Danh mục 6 nhóm cơ sở dữ liệu dùng chung không chỉ giúp TP. Hồ Chí Minh minh bạch hóa thông tin mà còn tạo điều kiện thuận lợi cho người dân và doanh nghiệp trong việc tiếp cận, khai thác dữ liệu; hướng tới một mô hình quản lý hiện đại, hiệu quả và minh bạch hơn…
Hơn 20 năm gắn bó với nông dân Vĩnh Châu, kỹ sư Thạch Thu Hiền đã xây dựng, chuyển giao nhiều mô hình sản xuất nông nghiệp theo hướng hữu cơ, ứng dụng kỹ thuật hiện đại vào canh tác hành tím và lúa, góp phần nâng cao năng suất, chất lượng nông sản và thu nhập cho đồng bào Khmer....
Nga đang phát triển đoàn tàu cao tốc đầu tiên do nước này tự chế tạo, có thể đạt tốc độ 400 km/h và chở tối đa 460 hành khách. Việc ứng dụng AI trong hỗ trợ vận hành, kết hợp các giải pháp giảm khối lượng đoàn tàu, tiếng ồn và tiêu thụ năng lượng, được kỳ vọng nâng cao hiệu quả công nghệ đường sắt…
Hàng trăm đại biểu tham gia, hàng chục câu hỏi được gửi tới Quỹ cho thấy sự quan tâm của cộng động khoa học công nghệ đối với các chương trình tài trợ, đặt hàng nhiệm vụ khoa học và công nghệ từ ngân sách Nhà nước...
Tốc độ Internet băng rộng di động của Việt Nam đã tăng 1 bậc so với kỳ xếp hạng trước, xếp vị trí 9/102 quốc gia, Hà Nội cũng tăng 5 bậc, xếp thứ 5/149 thành phố về tốc độ Internet di động…
Giới chuyên gia đánh giá năm 2026 là thời điểm bản lề đối với thị trường bất động sản nghỉ dưỡng. Việc Nhà nước đang đẩy mạnh cải cách thể chế, chính sách để tháo gỡ rào cản về visa, thị thực, thời hạn… sẽ tạo ra các cơ hội, sức hút tốt cho khách du lịch.
Theo số liệu từ Bộ Xây dựng, cả nước có khoảng 6.188 căn nhà do tổ chức, cá nhân nước ngoài sở hữu và đã được cấp Giấy chứng nhận; riêng từ khi Luật Nhà ở 2023 có hiệu lực, ghi nhận 1.519 căn hộ chung cư. Thực tế này đặt ra vấn đề tổ chức thị trường chỗ ở như thế nào để đáp ứng đúng nhu cầu, bảo đảm quyền hợp pháp và nâng cao sức cạnh tranh của đô thị.
Ngày 2/9/1945 đã mở ra bước ngoặt vĩ đại trong lịch sử dân tộc Việt Nam. Sự ra đời của nước Việt Nam Dân chủ Cộng hòa không chỉ khẳng định quyền độc lập, tự do và tự quyết về chính trị, mà còn trao...
VnEconomy cập nhật giá vàng trong nước & thế giới hôm nay: SJC, 9999, giá vàng USD/oz, biến động giá vàng tăng, giảm - phân tích, dự báo & dữ liệu lịch sử.
Nhìn lại di sản và thành tựu của Thời báo Kinh tế Việt Nam - Tạp chí Kinh tế Việt Nam trong 35 năm qua, giá trị lớn nhất không chỉ đo bằng lượng thông tin phục vụ bạn đọc hàng ngày, hàng giờ, cũng...
Interactive là một sản phẩm báo chí mới của VnEconomy vừa được ra mắt bạn đọc từ đầu tháng 3/2023 đã gây ấn tượng mạnh với độc giả bởi sự mới lạ, độc đáo. Đây cũng là sản phẩm độc quyền chỉ có trên...
